Patenty so značkou «silicidov»
Zariadenie na prípravu vrstiev karbidov, nitridov, silicidov, boridov W, Cr, Mo, Re, Os, Rh, Ru a multivrstvových a kompozitných štruktúr na vnútornej valcovej ploche elektricky vodivej rúry
Číslo patentu: 288155
Dátum: 16.12.2013
Autori: Hegedűsová Lucia, Ferdinandy Milan, Kottfer Daniel, Lofaj František, Dusza Ján
MPK: B32B 1/08, C23C 4/10, B05D 7/22...
Značky: přípravu, vodivej, silicidov, zariadenie, nitridov, rúry, kompozitných, boridov, multivrstvových, ploché, valcovej, karbidov, vrstiev, vnútornej, elektricky, struktur
Zhrnutie / Anotácia:
Opisované zariadenie pozostáva z elektricky vodivej rúry, ktorá sa má povliekať a ktorá je pripojená na jednosmerný, pulzný alebo vysokofrekvenčný elektrický zdroj. Do tejto rúry je umiestnená perforovaná rúra, ktorá je spojená s potrubím so sublimačnou komorou a zásobníkmi nosného plynu na chemické nanášanie povlaku v plazme.