Patenty so značkou «silicidov»
Zariadenie na prípravu vrstiev karbidov, nitridov, silicidov, boridov W, Cr, Mo, Re, Os, Rh, Ru a multivrstvových a kompozitných štruktúr na vnútornej valcovej ploche elektricky vodivej rúry
Číslo patentu: 288155
Dátum: 16.12.2013
Autori: Hegedűsová Lucia, Ferdinandy Milan, Dusza Ján, Kottfer Daniel, Lofaj František
MPK: C23C 4/10, B32B 1/08, B05D 7/22...
Značky: přípravu, elektricky, valcovej, silicidov, vodivej, vnútornej, karbidov, ploché, boridov, vrstiev, zariadenie, multivrstvových, kompozitných, nitridov, struktur, rúry
Zhrnutie / Anotácia:
Opisované zariadenie pozostáva z elektricky vodivej rúry, ktorá sa má povliekať a ktorá je pripojená na jednosmerný, pulzný alebo vysokofrekvenčný elektrický zdroj. Do tejto rúry je umiestnená perforovaná rúra, ktorá je spojená s potrubím so sublimačnou komorou a zásobníkmi nosného plynu na chemické nanášanie povlaku v plazme.