Patenty so značkou «silicidov»
Zariadenie na prípravu vrstiev karbidov, nitridov, silicidov, boridov W, Cr, Mo, Re, Os, Rh, Ru a multivrstvových a kompozitných štruktúr na vnútornej valcovej ploche elektricky vodivej rúry
Číslo patentu: 288155
Dátum: 16.12.2013
Autori: Lofaj František, Hegedűsová Lucia, Kottfer Daniel, Ferdinandy Milan, Dusza Ján
MPK: C23C 4/10, B05D 7/22, B32B 1/08...
Značky: přípravu, multivrstvových, vodivej, rúry, valcovej, vrstiev, ploché, nitridov, zariadenie, karbidov, vnútornej, struktur, boridov, kompozitných, silicidov, elektricky
Zhrnutie / Anotácia:
Opisované zariadenie pozostáva z elektricky vodivej rúry, ktorá sa má povliekať a ktorá je pripojená na jednosmerný, pulzný alebo vysokofrekvenčný elektrický zdroj. Do tejto rúry je umiestnená perforovaná rúra, ktorá je spojená s potrubím so sublimačnou komorou a zásobníkmi nosného plynu na chemické nanášanie povlaku v plazme.