Patenty so značkou «naměřených»
Zapojení pro korekci naměřených hodnot elipsometrického měření
Číslo patentu: 215816
Dátum: 20.12.1983
Autor: Hotmar Zdeněk
Značky: elipsometrického, měření, naměřených, hodnot, zapojení, korekcí
Zhrnutie / Anotácia:
Zapojení pro korekci naměřených hodnot elipsometrického měření, vyznačené tím, že zdroj záření (1) je elektromagnetickou vazbou spojen přes vzorek (13) s rotujícím analyzátorem (2), který je současně spojen s motorem (7), přičemž motor (7) je dále spojen s inkrementálním čidlem (8), jehož první výstup je připojen na blok vyhodnocení odchylky (9) a druhý výstup pak na druhý vstup vzorkovacího obvodu (5) a druhý vstup bloku korekce (10), kde blok...