Rothbauer Miloš

Číslo patentu: 270980

Dátum: 14.08.1990

Autor: Rothbauer Miloš

MPK: H01L 21/02, C23C 14/34

Značky: jevů, parazitních, omezení, způsob

Číslo patentu: 270727

Dátum: 12.07.1990

Autori: Rothbauer Miloš, Vít Miloslav

MPK: B23K 1/20, H01J 9/02

Značky: spojení, základovou, au-ge, způsob, deskou, targetu

Text:

...vrstva měnit postupem času své vlastnosti, zejména na styčné ploše s targetem a potom může dojít například ke kontamínaci, zvláště u čistých targetových kovů pro naprašování. Nevýhoda druhého řešení spočíva v tom, že mechanické spojení realizované přitištěním není nikdy tak dokonalé jako spojení pájením, proto i odvod tepla je horší a také není na celé styčné ploše amgjnosměrný,což může způsobit nestejnoměrné ochlazování, a tím i nerovnoměrné...

Číslo patentu: 269152

Dátum: 11.04.1990

Autori: Rothbauer Miloš, Novotný Zdeněk

MPK: H01L 21/308, H01L 21/26

Značky: nanesených, polovodičové, povrchu, vrstev, způsob, fotoresistových, úpravy, desce

Text:

...msskou bud v planetu kyslílm nebo dusíku nebo postupně v plssmstu obou plynů, což je čisto chemický způsob leptání, nedochásí vždy spolehlivł ehebo reprodukovstelnl k odstranění tento, íluorem nssyceně vrstvy fotoresistu a její. zbytky, spůsobují podobu jako v předchozí případě, nedokonslou adhesi nsslednvne eplíkovanýoh vrstev, což má s následok snížení výtěžnosti expo ne. polovo ~ díčovó desee Prevdłpodobnou příčínou nejistá...

Číslo patentu: 268072

Dátum: 14.03.1990

Autori: Tomiak Zdeněk, Rothbauer Miloš, Rada Josef

MPK: F27B 17/02

Značky: žíhání, plocha, desek

Text:

...chladící deska. S výhodou jsou ve vyhřívací desce a/nebo krycí desce vytvořeny kanály pro ohřev pracovního plynu.Plochá pec podle vynálezu zajišťuje velkou rychlost ohrevu i chlazení polovodíčové desky, čímž je splněn základní požadavek na dosažení nízkeho kontaktního odporu kovové vrstvy na polovodičové desce. Homogenní rozložení teploty v celé štěrbině pece a nesporně větší tepelná kapacita pece než polovodičové desky zaručují rychlé a...

Číslo patentu: 267707

Dátum: 12.02.1990

Autori: Rothbauer Miloš, Tomiak Zdeněk, Drápal Stanislav

MPK: H01L 21/283

Značky: součástky, polovodičové, kontaktů, vatvoření, ohmického, způsob

Text:

...terčom, tvořanjrm naprašovaným materiálem.Je zřejmě, že magnetronové naprašování z terče, který je tvořen magneticlqřm materiálem, například niklem, přináší komplikace a nelze použít běžných katod, určených pro kovové materiály, ale je nutné zkonstruovat speciální katodu se zvýšeným magnetickým polem.Účelem vynálezu .je odstranit uvedené nevýhody. Podstata vynálezu spočíva v tom, že druhávrstva se do místa ohmického kontaktu na...

Číslo patentu: 267575

Dátum: 12.02.1990

Autori: Rothbauer Miloš, Novotný Zdeněk

MPK: H01L 21/308, H01L 21/312

Značky: fotoresistových, úpravy, vrstev, povrchu, způsob

Text:

...jsou těžko viditslné 1 pod mikroskopem, a způsobí v místech otvorů ve fotoreeistové mesce špetnou sdhezi následně aplikovaných, např. kovových vrstev. V těchto případech po odplavení kovu dojde k jeho odtržoní i v místech, kde by měl kovový motív zůstat.Uvedené nevýhody Jsou odstreněny způsobem úpravy povrchu fotoresistových vrstev podle vynálezu, jehož podstata spočívá v tom, že po suchém leptání se polovodičová deska s fotoresistovou maskou...

Číslo patentu: 252293

Dátum: 13.08.1987

Autor: Rothbauer Miloš

MPK: H01R 13/10

Značky: polovodičové, zařízení, mikrovlnné, měření, součástky

Text:

...součástku při výrooní kontrole a provést měření ve frekvenčním rozsahu řádu lo MHz až 2 GHz,přičemž výsledky měření jsou srovnatelné e pevným zakontaktováním pouzdra se součástkou, například zapájením do měřicí desky plošného spoje.C 33 252 293 Příklad provedení zařízení pro měření mikrovlnné polovo dičové součástky podle vynálezu je petrný z připojeného výkreeu. IZařízení pro měření mikrovlnné polovodičové součáetky, zejména...

Číslo patentu: 252187

Dátum: 13.08.1987

Autor: Rothbauer Miloš

MPK: H01L 21/90

Značky: vytváření, deskách, arzenidu, způsob, kontaktů, ohmických, galia

Text:

...kontakty, vyjma AuGePt, je možno propojovat ve strukturách MESFET a integrovaných, obvodech na GaAs metalizačníml vrstvami typu TiPtAu, TlWAu, T 1 PdAu a TiAu, aniž by došlo k ovlívnění jejich vlastností během technologického zpracování,ale je problematické .použít k propojení hliníku, který se zásadné užíva v polovodičo 4vých součástkách a integrovaných obvodech na křemíku.Výše uvedené nedostatky známých kontaktů odstraňuje způsob...

Číslo patentu: 248797

Dátum: 12.02.1987

Autori: Novotný Zdeněk, Rothbauer Miloš

MPK: H01L 21/02

Značky: polovodičové, vrstev, kovových, součástky, způsob, tvarování

Text:

...u kterého by mohlo dojít k narušení energetickými ionty, například u arzenidu galia. V případě polovodičového materiálu, kde narušení nehrozí, se můžeproleptat dielektrická vrstva úplně. Následná použití izotropní metody leptání umožní získání přesně definované hrany profilu pro nanesení a vytvarování kovové vrstvy. Tímto leptánĺm nedojde k poškození povrchu polovodičového materiálu energetickými ionty.V dalším je podrobněji popsána...

Číslo patentu: 220839

Dátum: 15.12.1985

Autori: Bártová Jana, Rothbauer Miloš, Lidařík Miloslav

Značky: hmota, mikrovlnných, součástek, pouzdření, polovodičových, zalévací

Zhrnutie / Anotácia:

Vynález se týká přípravy zalévací látky pro částečné nebo kompletní pouzdření mikrovlnných polovodičových součástek pracujících v GHz kmitočtové oblasti. Pryskyřičným základem je cykloalifatická epoxidová pryskyřice, která obsahuje vysoké objemové procento anorganických plniv zbavených iontových nečistot. Tvrdidlem jsou anhydridy dikarboxylových nebo polykarboxylových kyselin s cykloalifatickou strukturou. Zalévací epoxidová látka podle...

Číslo patentu: 223530

Dátum: 01.05.1984

Autori: Rothbauer Miloš, Sopko Bruno, Šťastný Vladimír, Šimůnek Petr

Značky: epitaxních, přípravy, desek, způsob

Zhrnutie / Anotácia:

Podle vynálezu se křemíková epitaxní deska podrobí pro jadernou přeměnu izotopu 3014Si na donorovou příměs izotopu fosforu 3115P ozáření tepelnými neutrony.