Mirovský Jaromír
Magnetronová katoda
Číslo patentu: 272408
Dátum: 15.01.1991
Autori: Mirovský Jaromír, Janko Jindřich
MPK: H01J 37/04, H01J 17/14
Značky: magnetrónová, katoda
Zařízení pro výrobu kruhových optických klínů
Číslo patentu: 272023
Dátum: 13.12.1990
Autori: Mirovský Jaromír, Dubský Pavel, Šalom Václav, Kucharski Maciej, Všetečka Jaroslav
MPK: G02B 5/04
Způsob výroby přesných rezistorů
Číslo patentu: 271129
Dátum: 14.08.1990
Autori: Mirovský Jaromír, Harna Jaromír, Tubl Rudolf
MPK: H01C 17/26, H01C 17/22
Způsob nanášení vrstvy hliníku planárním magnetronem
Číslo patentu: 263089
Dátum: 11.04.1989
Autori: Skřivan Boris, Pašek Vladimír, Mirovský Jaromír
MPK: C23C 14/30
Značky: vrstvy, způsob, magnetronem, nanášení, planárním, hliníku
Text:
...30 °c, pod katodou rychlosti 0,01 až 0,02 m/s s následným ochlezením. Podložky mohou procházet pod katodou s následným ochlazením v několika cyklech, jejichž počet závisí na požadované konečné tlouštce nanášené vrstvy.Způsobem nanášení vrstvy hliníku podle vynálezu se snižuje sálání z povrchu katody i množství etomů dopadajících na podložąu. Výsledná vrstva hliníku je nanášena postupně po několika velmi tenxých vrstvách. Jsou zaručeny...