Hegedűsová Lucia

Zariadenie na prípravu vrstiev karbidov, nitridov, silicidov, boridov W, Cr, Mo, Re, Os, Rh, Ru a multivrstvových a kompozitných štruktúr na vnútornej valcovej ploche elektricky vodivej rúry

Načítavanie...

Číslo patentu: 288155

Dátum: 16.12.2013

Autori: Lofaj František, Dusza Ján, Ferdinandy Milan, Kottfer Daniel, Hegedűsová Lucia

MPK: B05D 7/22, C23C 4/10, B32B 1/08...

Značky: rúry, karbidov, boridov, nitridov, vodivej, kompozitných, multivrstvových, valcovej, elektricky, vnútornej, silicidov, ploché, zariadenie, vrstiev, přípravu, struktur

Zhrnutie / Anotácia:

Opisované zariadenie pozostáva z elektricky vodivej rúry, ktorá sa má povliekať a ktorá je pripojená na jednosmerný, pulzný alebo vysokofrekvenčný elektrický zdroj. Do tejto rúry je umiestnená perforovaná rúra, ktorá je spojená s potrubím so sublimačnou komorou a zásobníkmi nosného plynu na chemické nanášanie povlaku v plazme.