Hegedűsová Lucia

Zariadenie na prípravu vrstiev karbidov, nitridov, silicidov, boridov W, Cr, Mo, Re, Os, Rh, Ru a multivrstvových a kompozitných štruktúr na vnútornej valcovej ploche elektricky vodivej rúry

Načítavanie...

Číslo patentu: 288155

Dátum: 16.12.2013

Autori: Ferdinandy Milan, Kottfer Daniel, Hegedűsová Lucia, Lofaj František, Dusza Ján

MPK: C23C 4/10, B05D 7/22, B32B 1/08...

Značky: rúry, vnútornej, valcovej, ploché, karbidov, kompozitných, struktur, vodivej, nitridov, elektricky, vrstiev, boridov, multivrstvových, přípravu, silicidov, zariadenie

Zhrnutie / Anotácia:

Opisované zariadenie pozostáva z elektricky vodivej rúry, ktorá sa má povliekať a ktorá je pripojená na jednosmerný, pulzný alebo vysokofrekvenčný elektrický zdroj. Do tejto rúry je umiestnená perforovaná rúra, ktorá je spojená s potrubím so sublimačnou komorou a zásobníkmi nosného plynu na chemické nanášanie povlaku v plazme.