Hegedűsová Lucia
Zariadenie na prípravu vrstiev karbidov, nitridov, silicidov, boridov W, Cr, Mo, Re, Os, Rh, Ru a multivrstvových a kompozitných štruktúr na vnútornej valcovej ploche elektricky vodivej rúry
Číslo patentu: 288155
Dátum: 16.12.2013
Autori: Ferdinandy Milan, Kottfer Daniel, Lofaj František, Hegedűsová Lucia, Dusza Ján
MPK: B32B 1/08, B05D 7/22, C23C 4/10...
Značky: přípravu, vrstiev, rúry, vnútornej, struktur, multivrstvových, nitridov, valcovej, vodivej, ploché, kompozitných, elektricky, boridov, silicidov, zariadenie, karbidov
Zhrnutie / Anotácia:
Opisované zariadenie pozostáva z elektricky vodivej rúry, ktorá sa má povliekať a ktorá je pripojená na jednosmerný, pulzný alebo vysokofrekvenčný elektrický zdroj. Do tejto rúry je umiestnená perforovaná rúra, ktorá je spojená s potrubím so sublimačnou komorou a zásobníkmi nosného plynu na chemické nanášanie povlaku v plazme.