B05D 7/22

Zariadenie na prípravu vrstiev karbidov, nitridov, silicidov, boridov W, Cr, Mo, Re, Os, Rh, Ru a multivrstvových a kompozitných štruktúr na vnútornej valcovej ploche elektricky vodivej rúry

Načítavanie...

Číslo patentu: 288155

Dátum: 16.12.2013

Autori: Lofaj František, Dusza Ján, Hegedűsová Lucia, Kottfer Daniel, Ferdinandy Milan

MPK: B05D 7/22, B32B 1/08, C23C 4/10...

Značky: karbidov, vnútornej, vodivej, valcovej, nitridov, boridov, zariadenie, kompozitných, ploché, rúry, multivrstvových, přípravu, elektricky, struktur, vrstiev, silicidov

Zhrnutie / Anotácia:

Opisované zariadenie pozostáva z elektricky vodivej rúry, ktorá sa má povliekať a ktorá je pripojená na jednosmerný, pulzný alebo vysokofrekvenčný elektrický zdroj. Do tejto rúry je umiestnená perforovaná rúra, ktorá je spojená s potrubím so sublimačnou komorou a zásobníkmi nosného plynu na chemické nanášanie povlaku v plazme.