Zverejnene patenty 01.11.2008

Vákuová komora na báze rámu pre nanášacie zariadenie

Načítavanie...

Číslo patentu: E 16514

Dátum: 01.11.2008

Autori: Krassnitzer Siegfried, Zünd Fredy, Mayer Marco, Gwehenberger Jürgen

MPK: C23C 14/22, C23C 16/44

Značky: rámu, zariadenie, báze, komora, nanášacie, vakuová

Text:

...tým, že komora je vytvorená ako rámová konštrukcia, do ktorej sú vložené vkladacie dosky. Rám tvorí stabilnú kostru pre komoru. Na jednotlivých vkladacích doskách môžu byť vopred namontované nástavbové a vstavné zariadenia, ako napríklad čerpadlá, target alebo terč, alebo zdroj. Vkladacie dosky sa spoja s rámom mechanicky a vákuotesne alebo hermeticky. Pre vytvorenie väčšieho počtu rôznych vákuových komôr pritom môžu byť rámy vo väčšom počte...