Zverejnene patenty 01.11.2008
Vákuová komora na báze rámu pre nanášacie zariadenie
Číslo patentu: E 16514
Dátum: 01.11.2008
Autori: Zünd Fredy, Gwehenberger Jürgen, Mayer Marco, Krassnitzer Siegfried
MPK: C23C 14/22, C23C 16/44
Značky: komora, zariadenie, nanášacie, báze, vakuová, rámu
Text:
...tým, že komora je vytvorená ako rámová konštrukcia, do ktorej sú vložené vkladacie dosky. Rám tvorí stabilnú kostru pre komoru. Na jednotlivých vkladacích doskách môžu byť vopred namontované nástavbové a vstavné zariadenia, ako napríklad čerpadlá, target alebo terč, alebo zdroj. Vkladacie dosky sa spoja s rámom mechanicky a vákuotesne alebo hermeticky. Pre vytvorenie väčšieho počtu rôznych vákuových komôr pritom môžu byť rámy vo väčšom počte...