Patenty so značkou «naprašovania»

Spôsob naprašovania vrstiev a zariadenie na vykonávanie tohoto spôsobu

Načítavanie...

Číslo patentu: 277865

Dátum: 08.06.1994

Autori: Musil Jindřich, Kadlec Stanislav

MPK: C23C 14/34

Značky: vrstiev, vykonávanie, zariadenie, spôsob, tohoto, naprašovania, spôsobu

Zhrnutie / Anotácia:

Podľa spôsobu naprašovania tenkých oteruvzdorných vrstiev, najmä typu nitridu titánu sa zvyšuje hustota a homogenita iónového a elektrónového prúdu na substráty a umožňuje sa iónové plátovanie. Charakteristika plazmy je ovplyvňovaná tvarom magnetického poľa. Zariadenie pozostáva z elektromagnetov, posuvného anódového nadstavca alebo pomocnej elektródy.