Židlická Vira

Způsob výroby kovových kontaktních vrstev na polovodičových strukturách

Načítavanie...

Číslo patentu: 242655

Dátum: 01.04.1988

Autori: Pscheidt Jioí, Vála Lutz, Toman Jaromír, Židlický Zdenik, Židlická Vira, Vlasák Ludvík

MPK: H01L 21/428

Značky: kontaktních, způsob, strukturách, výroby, polovodičových, vrstev, kovových

Text:

...atmcsféře zahřeje alespoň v jednom pulsu pulsním zdrojem záření, tvořeným laserem C 02, neodymovým laserem YAG nebo xenonovou výbojkou na teplotu 350 až 800 ° C,přičemž doba trvání pulsu je kratší než Sočus, energie Pula je 5 až 60 J/cm 2 s rozsahem vlnových délek záření 0,3 äž 10 čum.Výhody řešení podle vynálezu spočívají především v tom, že při pulsním zažíhnutí kontaktního kovu je prakticky celý objem polovodičové struktury na nízké...