Timková Mária

Sposob vytvárania tenkých vrstiev wolfrámu na pevnom substráte

Načítavanie...

Číslo patentu: 248976

Dátum: 12.03.1987

Autori: Timková Mária, Král Jozef, Ferdinandy Milan, Liska Dušan, Czajlík Mikuláš

MPK: C23C 16/16

Značky: wolframu, spôsob, pevnom, tenkých, vytvárania, substráte, vrstiev

Text:

...substrâtov je teplota nižšia ako teplota ich štruktürnych zmien, prípadne teplota nižšia ako teplota ich poškodenia. Ďalšou výhodou daného spôsobu nanášanie ten 4kých vrstiev volfrámu na pevný silbstrát je to, že produkty rozklxadu hexakarbonylu volfrámu, volfrám a molekuly CO, nespôsobujo korózne poškodenie substrátu a vakuového zariadenia.Podstata predloženého vynálezu je bližšie objasnená pomocou priloženeho výkresu, na ktorom je...