Szombathely

Terčová elektroda pro nanášení supravodivé vrstvy v magnetronovém poli a způsob její výroby

Načítavanie...

Číslo patentu: 245242

Dátum: 01.07.1988

Autori: Alpár Tibor, Stenström Yngve, Szombathely, Györvári János, Tér László

MPK: C23C 14/00

Značky: magnetronovém, vrstvy, elektroda, nanášení, její, způsob, terčová, výroby, supravodivé

Text:

...nemagnetického kovu obdélníkového nebokruhového tvaru s vyfrézovanou drážkou, do které je zalisována supravodivá sloučenina. Elektroda se vyrábí tak, že do drážky těê lesa elektrody se nasype supravodivá sloučenina, která se společně s tělesem elektrody slisuje na konečnou výšku elektrody.Výhoda uvedené elektrody podle vynálezu spočívá především v tom, že elektroda umožní nanášet supravodivé vrstvy metodou magnetronového naprašování...