Stanislav Jiří

Magnetron pro depozici tenkých vrstev ve vakuu

Načítavanie...

Číslo patentu: 269498

Dátum: 11.04.1990

Autori: Kult Jaroslav, Exner Milan, Frey Augustín, Matuška Josef, Stanislav Jiří

MPK: C23C 14/34

Značky: magnetrón, vrstev, tenkých, vakuu, depozicí

Text:

...posuvným dílem zadního víka magnetronu a vnitřním magnetickým polem roste podíl magnetického toku, protékajícího touto zadní deskou magnetronu a klesá tak intenzita magnetického pole na terči. se zvětšující se vzduchovou mezerou klesá podíl magnetického protékajícího toku parazítním polem a roste tak hodnota intenzity magnetického pole na terči.Magnetron podle vynálezu umožňuje pomocí změny polohy posuvného dílu zadní desky magnetronu měnit...

Způsob čistění povrchu ocelových součástí a nástrojů a vytěsnění vody z povrchu

Načítavanie...

Číslo patentu: 269259

Dátum: 11.04.1990

Autori: Sikač Jiří, Pilnáček Josef, Stanislav Jiří, Havránková Zdeňka

MPK: C23G 1/14, C23G 5/028

Značky: způsob, oceľových, vytěsnění, čištění, součástí, povrchu, nástrojů

Text:

...jako jsou tuky, oleje, bruaivo, kalící soli apod., jednak při průmyslovém využití zaručuje prüběžnou možnost reganerace použitých lázní s tr 1 chlorety 1 enem, vÉe~ tně lázně propojovací, což je základní podmínka pro udržení kvality procesu v trvalém provozu. Navíc je trichloretylen podstatné méně ekologicky škodlivý než k tomuto účelu většinou používaný freon.Možnost kontinuální regenorace je zajiätěna složaním propojovací lázně mezi...

Magnetron pro depozici tenkých vrstev ve vakuu

Načítavanie...

Číslo patentu: 258548

Dátum: 16.08.1988

Autori: Fidranský Miroslav, Daďourek Karel, Exner Milan, Rybář Oldřich, Matuška Josef, Stanislav Jiří, Frey Augustín

MPK: C23C 14/34

Značky: tenkých, magnetrón, vakuu, vrstev, depozicí

Text:

...počtu maqnetůuložených vedle sebe mezi tělesem magnetronu a vnitřním pólovým nástavcem.Vysoká hodnota magnetické indukce snižuje pracovní napětí magnetronu a tím se zmenšuje nebezpečí elektrických prúrazů k anodě. současně však i stahuje plasmatické pole před magnetronem směrem k targetu a tím se zmenšuje teplotní pole před targetem. To umožňuje nanášet vrstvy na substráty e nižšími teplotami tání při zachování vysokých deposičních...

Způsob řízení a zařízení k regulaci složení atmosféry pro magnetronovou depozici TiN

Načítavanie...

Číslo patentu: 256643

Dátum: 15.04.1988

Autori: Stanislav Jiří, Daďourek Karel, Rybář Oldřich

MPK: C23C 14/00

Značky: způsob, magnetronovou, depozicí, zařízení, složení, atmosféry, řízení, regulaci

Text:

...0,5 do 2,Pa, parciální tlak od O do 0,5 Pa v zá vislosti na výkonu magnetronu a požadované stechiometrii.Při udržení konstantního celkového tlaku je nutno zajistit průtok dusíku vzhledem k argonu s odchylkou maximálně 1. K tomu lze výhodně využít závislosti změny napětí magnetronu na parciálním tlaku dus ku při konstantním celkovém tlaku atmosféry. Tato závislost mgzb rostoucímtlakem dusíku spojitě rostoucí charakter až do oblasti vzniku...

Válcový magnetron s jedním meandrovitým plasmatickým oblakem

Načítavanie...

Číslo patentu: 255419

Dátum: 15.03.1988

Autori: Rybář Oldřich, Daďourek Karel, Stanislav Jiří

MPK: C23C 14/00

Značky: magnetrón, oblakem, meandrovitým, válcový, plasmatickým, jedním

Text:

...obr. 2 - je řez rovinou A-A, z obr. 1.Válcový maqnetron na obr. 1 je tvořen nosičem L magnetů, z feromaqnetického materiálu,na němž jsou přichycené permanentní magnety 3, které v dalším textu nazýváme jen magnety 3. Těleso magnetronu je uzavřeno na obou stranách pőlovými nástavci 5, mezi něž je vložen target 3 tvoŕící katodu. Target Ž je v podstatě duty váleo. Na obou stranách nad pőlovými nástavci A je uložena izolace Ž a anoda É, pŕičemž...

Válcový magnetron s několikanásobným eliptickým plasmatickým oblakem

Načítavanie...

Číslo patentu: 255418

Dátum: 15.03.1988

Autori: Daďourek Karel, Rybář Oldřich, Stanislav Jiří

MPK: C23C 14/00

Značky: plasmatickým, válcový, oblakem, několikanásobným, eliptickým, magnetrón

Text:

...dle vynálezu, kde značíobr. 1 - nárys vnitřní části válcového magnetronu s některými díly znázorněnými V řezu, obr. 2 - je řez rovinou A-A z obr. 1.Válcový magnetron dle vynálezu je na obr. 1 tvořen nosičem ł magnetů z feromagnetlckého materiálu, na nemž jsou přichyceny permanentní magnety 3, dále v textu nazývány jen magnety 3. Těleso magnetronu je uzavřeno pőlovými nástavci A, mezi něž je vložen target 3 tvořící katodu. Target Ä je v...

Magnetron pro depozici tenkých vrstev ve vakuu

Načítavanie...

Číslo patentu: 253547

Dátum: 12.11.1987

Autori: Exner Milan, Stanislav Jiří, Daďourek Karel, Frey Augustín, Rybář Oldřich

MPK: C23C 14/56

Značky: tenkých, vrstev, depozicí, magnetrón, vakuu

Text:

...být z feromagnetickěho materiálu. Na těleso magnetronu 1 je přiložen target 1 2 odprašovaného materiálu a pőlový nástavec 2. Target 1 a pőlový nástavec 2 jsou připevněny šrouby( neznázorněno) k tělesu magnetronu 1 přes těsnící kroužek 2. Tím je isolován chladící obvod magnetronu od vakuového pro- 3 253 547 storu. Chladicí kapeline se přivádí přivodem 1 a odvádi odvodem § . Celé zařízení je zekryto anodickým pláštěm §, který je isolovaně od...

Způsob vytváření tenkých otěruvzdorných povlaků na kovových součástkách

Načítavanie...

Číslo patentu: 251899

Dátum: 13.08.1987

Autori: Jakeš Jan, Routnerová Blanka, Exner Milan, Rybář Oldřich, Daďourek Karel, Frey Augustín, Stanislav Jiří

MPK: C23C 28/00

Značky: kovových, povlaků, součástkách, oteruvzdorných, způsob, vytváření, tenkých

Text:

...oapřx u TiN tvrdosti HV 2500 až 3000 a tliouštlky 1 až 10 m, takže užitoé vlastností povrchu jsou daleko lepší. Tenká Oltěľtlvzdlüľlľlá vrstva je pak zesplodu podpíráoa poměrně tlustou iontově nitriidiovanou vrstvou, tlouštky až 0,1 mm o. tvrdostiHV 800 až 1 500, takže neidlo-jde tak lehce k proboření tenké povrchové vrstvy TiN.sou msožné dvě alternatívy procesu. Podle prvé je ionbová nitridace poolveudena v jednom zařízení, v němž jsou...

Zařízení pro horký rozvod taveniny

Načítavanie...

Číslo patentu: 234077

Dátum: 01.10.1986

Autori: Vojtíšek Jiří, Stanislav Jiří, Kseňák Jan

MPK: B29F 1/03

Značky: rozvod, zařízení, horký, taveniny

Zhrnutie / Anotácia:

Zařízení pro horký rozvod taveniny materiálu ve vstřikovací formě, kde rozvodná kostka je uložena mezi opěrnou deskou a vtokovou deskou v desce rozvodu. Mezi tryskou a vtokovou vložkou je umístěn těsnicí kroužek, který je na trysce nalícován. Těsnicí kroužek je osazený, a tím přispívá k utěsnění celého rozvodu. Zařízení lze použít ve vstřikovacích formách pro vstřikování horké taveniny.