Slepánek Antonín

Způsob přípravy vysoce čistých chlorsilanů

Načítavanie...

Číslo patentu: 261343

Dátum: 12.01.1989

Autori: Vošta Jan, Laskafeld Dušan, Slepánek Antonín

MPK: C01B 33/107

Značky: vysoce, chlorsilanů, čistých, přípravy, způsob

Text:

...heterogenních částic, nnpŕ. částečnou hydrolýzou.Praktické využití způsobu přípruvy vysoce čistých chlorsilanů podle vynálezu je objasněno nn následujících příkladech.Trichlorsilan používsný jako základní surovina ve výrobě polovodičového křemíku,přiváděný 2 meàioperačního zásobníku. je po odpařeni do proudu vodíku s obsnhem kyslíku pod 5 ppm a vody pod 2 ppm filtrován přes teflonový mikrofiltr s porozitou pod 1/um těsně před vstupem do...

Způsob čištění křemíkových tyčinek

Načítavanie...

Číslo patentu: 238329

Dátum: 01.10.1987

Autori: Vošta Jan, Laskafeld Dušan, Slepánek Antonín

MPK: C30B 33/00

Značky: tyčinek, způsob, čištění, křemíkových

Zhrnutie / Anotácia:

Podstata vynálezu spočívá v tom, že po usazení křemíkových tyčinek je bezprostředně před zahájením růstu odstraněna znečištěná povrchová vrstvička leptáním ve vodíku při teplotě povrchu křemíkových tyčinek 1130 až 1200 °C po dobu nejméně 5 minut. Během leptání ve vodíku je udržován přetlak alespoň 10 kPa a průtok vodíku je udržován během leptání povrchu křemíkových tyčinek pod 15 litru/h vztaženo na 1 cm délky křemíkové tyčinky. Teplota povrchu...