Říčařová Daniela

Způsob leptání hliníkového kontaktu Al výkonových polovodičových součástek

Načítavanie...

Číslo patentu: 269214

Dátum: 11.04.1990

Autori: Pojman Pavel, Zamastil Jaroslav, Kačer Jan, Říčařová Daniela, Andrš Vladimír

MPK: H01L 21/28

Značky: hliníkového, způsob, kontaktů, součástek, výkonových, polovodičových, leptání

Text:

...nedoleptají celé části motívu, která je nutné mechanicky odetraňovet, jinak vodou ke zkratom na kontaktovans etruktuře.Uvedená nevýhody odstraňuje způsob leptání hliníkového kontaktu A 1 výkonových polovodičových součáatek podle vynálezu, jehož podstate spočíva v ton, že povrch polovodičoveho systemu opatřený hliníkovou kontaktní vrstvou se selektívně loptá přes fotorezis~ tovou masku ve směsi kyselín orthofosforečne, dusíćné s octovó v...