Oksman Erkki

Způsob zhotovení volně nesené dálková masky pro zmenšující projekční soustavy

Načítavanie...

Číslo patentu: 245264

Dátum: 15.06.1987

Autori: Oksman Erkki, Lehto Arto

MPK: H01L 21/70

Značky: nesené, masky, volně, dálková, způsob, zhotovení, soustavy, zmenšující, projekční

Text:

...Bo 3 mKaeT 38 CWGTTpeóyemaa Ann oóecneqenua ycroüqwaocwn Macxn Toumnna MaTapuaua nocmuraemca TGM, qwo B onyqae pacmennennoü MHHMMNM Ha 2 anowanmonhux Macox npoexunonuoü nnocnocwn PEHLBGHEqacxuü npouecc He HpDOCT 8 HaBHMBaGTOH nocne oóecneqenua Hymuoü Tonmuuu naxoaoro noxpumna, upmqem nan naxonum noxpuwmem cnoñ mnam paspacwaemcs ,uanmue B ÓOKOBOM m BGDTMKQALHOM HanpaBneHnsx. Swa Texnonormn onaaxo He oóecnequnaem Bosmomxocrb peannsaumm cxemoñ...