Mirovský Jaromír

Způsob nanášení vrstvy hliníku planárním magnetronem

Načítavanie...

Číslo patentu: 263089

Dátum: 11.04.1989

Autori: Mirovský Jaromír, Skřivan Boris, Pašek Vladimír

MPK: C23C 14/30

Značky: hliníku, způsob, vrstvy, planárním, nanášení, magnetronem

Text:

...30 °c, pod katodou rychlosti 0,01 až 0,02 m/s s následným ochlezením. Podložky mohou procházet pod katodou s následným ochlazením v několika cyklech, jejichž počet závisí na požadované konečné tlouštce nanášené vrstvy.Způsobem nanášení vrstvy hliníku podle vynálezu se snižuje sálání z povrchu katody i množství etomů dopadajících na podložąu. Výsledná vrstva hliníku je nanášena postupně po několika velmi tenxých vrstvách. Jsou zaručeny...