Henneberg Jürgen

Selektivní leptaný vrstvený systém pro integrované obvody

Načítavanie...

Číslo patentu: 251945

Dátum: 13.08.1987

Autori: Bäther Karl-heinz, Brode Wolfgang, Hinüber Wilfried, Schreiber Hartmut, Henneberg Jürgen, Steinhauer Ingo

MPK: H01C 7/00, H01C 17/06

Značky: vrstvený, selektivní, systém, leptaný, integrované, obvody

Text:

...pemennñ npemne Bcero TEM, qwo Bce cnou MOFYT nonyqawhcx B npéenax ouoň cucwemm ncxoHoro Mawépnana. 3 T 0 nosnonner ncnonbsosarb npenmymecweo Bbmoxoů repmocwoüKOCTH Mawepnana Ct-Si. Heoxuanno öbmo oöuapymeuo oTcyTcTBHe asaamuoü numàysun Memny cnoauu, Tax qTo namoxan repmoycwoňqnnocwb Marepnana Cr«Si une na HOHBBY aceů cnoucroů cucreue. , Onna H 3 BHDHBHTOB H 3 o 6 peTeHHs npenycMaTpHBaeT, qro rpanuuamne cnou uMemT cooruomenue aTOMOB Cr/Si,...