Hegedűsová Lucia

Zariadenie na prípravu vrstiev karbidov, nitridov, silicidov, boridov W, Cr, Mo, Re, Os, Rh, Ru a multivrstvových a kompozitných štruktúr na vnútornej valcovej ploche elektricky vodivej rúry

Načítavanie...

Číslo patentu: 288155

Dátum: 16.12.2013

Autori: Dusza Ján, Ferdinandy Milan, Kottfer Daniel, Hegedűsová Lucia, Lofaj František

MPK: C23C 4/10, B32B 1/08, B05D 7/22...

Značky: zariadenie, boridov, silicidov, valcovej, nitridov, elektricky, multivrstvových, přípravu, karbidov, vodivej, struktur, rúry, vrstiev, kompozitných, vnútornej, ploché

Zhrnutie / Anotácia:

Opisované zariadenie pozostáva z elektricky vodivej rúry, ktorá sa má povliekať a ktorá je pripojená na jednosmerný, pulzný alebo vysokofrekvenčný elektrický zdroj. Do tejto rúry je umiestnená perforovaná rúra, ktorá je spojená s potrubím so sublimačnou komorou a zásobníkmi nosného plynu na chemické nanášanie povlaku v plazme.