Hegedűsová Lucia

Zariadenie na prípravu vrstiev karbidov, nitridov, silicidov, boridov W, Cr, Mo, Re, Os, Rh, Ru a multivrstvových a kompozitných štruktúr na vnútornej valcovej ploche elektricky vodivej rúry

Načítavanie...

Číslo patentu: 288155

Dátum: 16.12.2013

Autori: Hegedűsová Lucia, Kottfer Daniel, Lofaj František, Dusza Ján, Ferdinandy Milan

MPK: C23C 4/10, B05D 7/22, B32B 1/08...

Značky: multivrstvových, zariadenie, kompozitných, struktur, boridov, vrstiev, karbidov, vnútornej, silicidov, ploché, nitridov, přípravu, vodivej, elektricky, rúry, valcovej

Zhrnutie / Anotácia:

Opisované zariadenie pozostáva z elektricky vodivej rúry, ktorá sa má povliekať a ktorá je pripojená na jednosmerný, pulzný alebo vysokofrekvenčný elektrický zdroj. Do tejto rúry je umiestnená perforovaná rúra, ktorá je spojená s potrubím so sublimačnou komorou a zásobníkmi nosného plynu na chemické nanášanie povlaku v plazme.