H01L 39/24

Spôsob tvarovania tenkých vrstiev v kryoelektronike s použitím fullerénu C60

Načítavanie...

Číslo patentu: 286586

Dátum: 29.12.2008

Autori: Chromik Štefan, Vincenc Oboňa Jozef

MPK: G03F 7/027, H01L 39/24, H05K 3/02...

Značky: tvarovania, fullerénu, kryoelektronike, tenkých, použitím, vrstiev, spôsob

Zhrnutie / Anotácia:

Pri výrobe štruktúr s využitím tvarovaných tenkých vrstiev YBCO, potrebných pre kryoelektroniku, sa často stáva, že použitá maska v kombinácii s použitým leptadlom nezabezpečí kvalitný výsledok. Objavujú sa chyby nedokonale odleptaných plôch so zvyškami rezíduí, chyby následkom podleptania vytvarovaných motívov atď. Vynález rieši výrobu masky z fullerénu C60, ktorý sa nanáša na inverznú masku vyrobenú optickou litografiou pomocou vákuovej...

Spôsob tvarovania submikrometrových štruktúr v kryoelektronike využitím fullerénu C60

Načítavanie...

Číslo patentu: 286519

Dátum: 12.11.2008

Autori: Vincenc Oboňa Jozef, Kostič Ivan, Chromik Štefan

MPK: H01L 39/24, H01L 39/14, C23C 16/04...

Značky: submikrometrových, fullerénu, kryoelektronike, struktur, tvarovania, spôsob, využitím

Zhrnutie / Anotácia:

Vynález rieši výrobu masky z fullerénu C60, ktorý sa nanáša na inverznú masku vyrobenú elektrónovou litografiou, prípadne hlbokou UV litografiou pomocou vákuovej depozície. Pomocou lift-off techniky sa z týchto dvoch vrstiev vyrobí pozitívna maska C60 spôsobilá kvalitne zabezpečiť odprášenie pomocou argónového zväzku.

Spôsob výroby supervodivých drôtov na základe dutých vlákien z MgB2

Načítavanie...

Číslo patentu: E 3588

Dátum: 06.05.2003

Autori: Ceresara Sergio, Giunchi Giovanni

MPK: H01L 39/24

Značky: supervodivých, základě, dutých, vlákien, výroby, spôsob, drôtov

Text:

...zŕn.0009 Pri prvom variante je slinovanie práškov MqBg pri vysokej teplote silne obmedzené prostrednictvom dekompozičného procesu kryštalov MgB 2, ktorý pri atmosférickom tlaku alebo za vákua začína už pri stredných teplotách, t.j.pri teplotách zhruba 400 °C.0010 Pri druhom variante prášky horčíka a bóru, ktoré už reagovali pri vysokej teplote a bez pôsobenia tlaku, sú Lransformované na MgB 2, avšak zodpovedajúci slinovaný materiál je...

Spôsob tepelného spracovania vysokoteplotných supravodivých tenkých vrstiev

Načítavanie...

Číslo patentu: 268584

Dátum: 14.03.1990

Autori: Levársky Ján, Chromik Štefan, Pleceník Andrej, Beňačka Štefan

MPK: H01L 39/24

Značky: tepelného, spracovania, vysokoteplotných, supravodivých, vrstiev, tenkých, spôsob

Text:

...teplotách, takze dlfúznymi procesmi dochádza k interakcii podložky a vrstvy. čím sa zhoršujú základné kritické parametre supravodića, najmä jeho krítická teplota a kritická prúdová hustota vrstiev.Zmienenć nedostatky v podstatnej miere odstraňuje spôsob tepelného spracovania vysokotoplotných supravodivých tenkých vrstiev na báze oxidov prvkov vzácnych zemín podla vynálezu,ktorého podstata spočíva v tom, že vrstva sa žíha vo vákuu s...

Spôsob prípravy vysokotepelných supravodivých tenkých vrstiev

Načítavanie...

Číslo patentu: 267358

Dátum: 12.02.1990

Autori: Leverský Ján, Chromik Štefan, Pleceník Andrej, Beňačka Štefan

MPK: H01L 39/24

Značky: vysokotepelných, tenkých, supravodivých, přípravy, vrstiev, spôsob

Text:

...procesu a vybratí vzoriek na laboratórnu atmosféru používať pec s možnosťou prívodu kyslíka do priestoru, kde sa nachádza vzorka.Uvedené nedostatky odstraňuje spôsob príEravy vysokoteplotných supravodivých ten ých vrstiev na báze prvkov vzácnych zemín podľa vynálezu, ktorého podstata spočíva v tom, že vrstvy sa nanášajú kodepozíciou rvkov vzácných zemín pri tlaku kyslíka 10 Pananášania sa vrstvy ponechajú vo vákuovej aparatúre pri...