H01L 21/66

Zařízení pro měření optického výkonu emisních čelně emitujících čipů

Načítavanie...

Číslo patentu: 268127

Dátum: 14.03.1990

Autori: Sika Jiří, Čotek Petr

MPK: G02B 6/12, G02B 6/14, H01L 21/66...

Značky: čipu, výkonu, zařízení, měření, emitujících, emisních, optického, čelně

Text:

...měření optického výkonu čipu na cele desce před použitím ke zpracování. Nepřesností vzniklé opotřebenín detektoru jsou vzhledem k požadovaným nârokům na měření zanedbatelné. Výhodou zařízení podle vynälezu je jeho velká operativnos měření, snadnà možnost automatizace a na nipulace s čipem při měření.Na připojenem výkrese je vyobrazeno blokově schéma zařízení pro měření optického výkonu emisních čelnč emítujících čipů.°rincip spočívà v...

Způsob úpravy epitaxní vrstvy před měřením epitaxní struktury indiumfosfidu

Načítavanie...

Číslo patentu: 265840

Dátum: 14.11.1989

Autori: Mlejnková Jiřina, Šťastný Vladimír, Kvasničková Miroslava, Veselý Miroslav

MPK: H01L 21/66, H01L 21/302

Značky: před, struktury, úpravy, epitaxní, vrstvy, měřením, indiumfosfidu, způsob

Text:

...kvalita povrchu epitaxní struktunm a tím také přesnost měření.Uvedené nevýhody z velké části odstraňuje způsob úpravy epitaxní struktury indiumfosfidu před jejím měřením metodou snímání charakteristík kapacita-napětí na Schottxyho přechodu pomocí rtutová sondy podle vynálezu, jehož podstata spočívá v tom,že se substrát a nanesenou epítaxní strukturou n-typu vodivosti ponoří do redostilované vody, zahřáté na bod varu po dobu lt 2 minut.Výhodou...

Způsob detekce vnitřních zkratů na interdigitalizovaných strukturách v zapouzdřených polovodičových součástkách

Načítavanie...

Číslo patentu: 265361

Dátum: 13.10.1989

Autori: Škaloud Miroslav, Homola Jaroslav, Zamastil Jaroslav, Muller Ilja

MPK: G01R 31/26, H01L 21/66

Značky: strukturách, součástkách, vnitřních, detekce, polovodičových, interdigitalizovaných, zapouzdřených, zkratu, způsob

Text:

...elektrody a katody výše uvedené zkraty detekovat nelze,protože tyristorová struktura mezi vývodem řídící elektrody a katodou pomocného tyristoru vnáší do měřícího obvodu sériový odpor, který je mnohem větší, než. velikost odporu mezi katodovou elektrodou a katodcu pomocného tyristoru u nezkratované struktury. známé způsoby detekce zkratů tedy neumožňují provádět výstupní kontrolu zapouzdřených součástek,a nelze takzabránit expedování součástek...

Zapojenie pre automatické vyhodnocovanie časového priebehu elektrického signálu v procese plazmochemického leptania

Načítavanie...

Číslo patentu: 262611

Dátum: 14.03.1989

Autori: Trnovec Jozef, Mikuš Oliver, Martišovitš Viktor

MPK: H01H 1/36, H01H 1/30, G06G 7/18...

Značky: elektrického, časového, priebehu, procese, zapojenie, vyhodnocovanie, signálu, plazmochemického, automatické, leptania

Text:

...funkciou nulovania možno blokovat vyhodnocovanie signálu. Druhá funkcia sledovania prírastku vyhodnocovaného signálu zabezpečuje širokú dynamiku pripojeného diferenčného obvodu 1. V tretej funkcii sa určuje zmena signálu vzhladom na prechádzajúoi extrém, čim sa zaručuje jednoznačne a presné vyhodnotenie zmien signálu, ktorý má nemonotônny časový priebeh. Vhodnou kombináciou týchto troch funkcii prirastkového zosilňovače g možno postupne...

Analyzátor energií elementárních částic

Načítavanie...

Číslo patentu: 258565

Dátum: 16.08.1988

Autor: Fišer Jan

MPK: G01N 23/08, G01R 31/26, H01L 21/66...

Značky: elementárních, částic, energií, analyzátor

Text:

...výhodou analyzátoru je zvýšení jeho rozlišovací schopnosti, zadrží pozadí signálu vytvořeného částicemi prošlými otvorem analyzační mřížky. Značně se omezí Vliv extrakčních polí na primární svazek elementárních částic a sníží se vliv terciálních částic.Vynález blíže qpjasní přiložený výkres, na kterém je znázorněn ve zjednodušeném náčrtku analyzátor v osovém řezu.Analyzátor tvoří jednak extrakční prostor 2 a jednak brzdné pole lg...

Spôsob hodnotenia kvality systémov výkonových polovodičových súčiastok

Načítavanie...

Číslo patentu: 242157

Dátum: 15.09.1987

Autori: Mikoláš Petr, Bor Jan, Biheller Jan, Novák Zdenik, Labohý Ivan

MPK: H01L 21/66

Značky: kvality, polovodičových, systémov, súčiastok, spôsob, výkonových, hodnotenia

Text:

...teplotným cyklickýmskúškam, v skrátení času potrebného na skúšky 1 O 3 krát v šetrení pracovných sil v počte najmenej 1 000 hodin, v ušetrení chladiacej vody v množstve cca 200 m 5 a urýchlení prác vo výskume a vývoji výkonovýoh polovodičových súčiastok najmenej o 3 mesiace.vyznačený postup je novou diagnosticktou metódou pre hodnotenie vlastností výkonových polovodičových súčiastok, ktorá umožňuje nahradit doterajšie teplotné...

Způsob kontroly úrovně znečištění polovodičových desek

Načítavanie...

Číslo patentu: 231897

Dátum: 15.12.1986

Autori: Žamberský Vlasta, Pína Bohumil, Šváb Petr, Homola Jaroslav

MPK: H01L 21/66

Značky: desek, způsob, znečištění, úrovně, polovodičových, kontroly

Zhrnutie / Anotácia:

Vynález se týká způsobu kontroly úrovně znečištění polovodičových desek, kde v průběhu vysokoteplotních operací se do křemenných aparatur jednorázově nebo v pravidelných intervalech vkládají testovací struktury s jedním vysokonapěťovým přechodem PN a s koncentrací hlubokých příměsí nižší než 2.1011 atomů cm-3. Testovací struktury se zpracují spolu s výrobními dávkami a po skončení vysokoteplotních operací se měří koncentrace hlubokých příměsí v...