H01L 21/28

Způsob leptání hliníkového kontaktu Al výkonových polovodičových součástek

Načítavanie...

Číslo patentu: 269214

Dátum: 11.04.1990

Autori: Andrš Vladimír, Říčařová Daniela, Zamastil Jaroslav, Pojman Pavel, Kačer Jan

MPK: H01L 21/28

Značky: kontaktů, leptání, hliníkového, součástek, způsob, výkonových, polovodičových

Text:

...nedoleptají celé části motívu, která je nutné mechanicky odetraňovet, jinak vodou ke zkratom na kontaktovans etruktuře.Uvedená nevýhody odstraňuje způsob leptání hliníkového kontaktu A 1 výkonových polovodičových součáatek podle vynálezu, jehož podstate spočíva v ton, že povrch polovodičoveho systemu opatřený hliníkovou kontaktní vrstvou se selektívně loptá přes fotorezis~ tovou masku ve směsi kyselín orthofosforečne, dusíćné s octovó v...

Sposob výroby elektród tranzistorov typu MESFET

Načítavanie...

Číslo patentu: 266957

Dátum: 12.01.1990

Autor: Lalinský Tibor

MPK: H01L 21/28

Značky: tranzistorov, elektrod, spôsob, výroby, mesfet

Text:

...a hradla sa žihajú pri teplote 400 až 520 °C v redukčnej atmosfére vodika s rýchlosťou ohrevu 20 až 200 °C.sl a následne ochladzujú s rýchlosťou aspoň 50 °C.s 1. Hlavnou presnosťou vynálezu je, že umožňuje vyrába tranzistory, ktoré sa vyznačujúhodnotou merného kontaktného odporu ohmických kontaktov nižšou než 0,05 JL mm, výškou potenciálovej bariéry Schcttkyho hradlového rozhrania väčšou než 0,74 V a koeficientom ideálnosti aspoň 1,08....

Způsob vytvoření katodového kontaktu výkonových polovodičových součástek

Načítavanie...

Číslo patentu: 248397

Dátum: 12.02.1987

Autori: Stejskal Pavel, Pojman Pavel, Zamastil Jaroslav

MPK: H01L 21/28

Značky: součástek, kontaktů, výkonových, způsob, polovodičových, vytvoření, katodového

Text:

...intermetalických fází a křemíkem (nikl).Tento problém řeší způsob vytvoření katodového kontaktu výkonových polovodičových součástek podle vynálezu, jeho podstata spočívá v tom, že křemíková doske se po běiněm očiětění nepaři ve vakuu vrstvou stříbra tlouätky maximálně l pm, dále vrstvou hliníku tlouětky maximálně 1 (um s následným zeaílením vrstvou stříbra případně hliníku tlouštlty maximálněS výhodou se až 95 š tlouätky třetí vrstvy...

Výkonová polovodičová součástka

Načítavanie...

Číslo patentu: 248345

Dátum: 12.02.1987

Autori: Homola Jaroslav, Pína Bohumil, Kalenda Libor, Šátek Jaroslav, Zamastil Jaroslav

MPK: H01L 21/28

Značky: polovodičová, součástka, výkonová

Text:

...struktura výkonové polovodičové součástky podle vynáu lezu s vloženými kovovými mezivrstvami v řezu a na obr. 2 polovow dičová křemíková struktura s další profilovanou mezivrstvou z měkkého kovu.Na obr. 1 je tyristorová struktura L o průměru 25 mm spojene tvrdým slitinovým spojem g s dilatační elektrodou 1 ve tvaru podložky, vyrobené z křemíku vysoce dotovaného borem. Tento oelek je opatřen.h 1 iníkovými kontakty A a 5 a kluzně vložen mezi...

Způsob vytvoření kontaktní vrstvy molybdenových dilatačních elektrod výkonových polovodičových součástek

Načítavanie...

Číslo patentu: 233017

Dátum: 15.08.1986

Autori: Zamastil Jaroslav, Šimko Timotěj, Ramajzl Karel, Baloun Vladislav, Stejskal Pavel

MPK: H01L 21/28

Značky: kontaktní, elektrod, výkonových, polovodičových, molybdénových, způsob, dilatačních, vrstvy, vytvoření, součástek

Zhrnutie / Anotácia:

Účelem vynálezu je výrazná úspora stříbra a snížení pracnosti při výrobě kontaktní vrstvy molybdenových dilatačních elektrod při zachování jejich požadovaných vlastností. Uvedeného účelu se dosáhne tím, že se molybdenová elektroda opatří vrstvou niklu tlouštky 0,5 až 3 ?m, na kterou se nanese první vrstva stříbra tlouštky 1 až 3 ?m. Po jejím zažíhnutí se tato vrstva opatří druhou vrstvou stříbra tlouštky 6 až 10 ?m a zažíhne. Pro zlepšení...

Katodová kontaktní struktura křemíkové desky výkonové polovodičové součástky

Načítavanie...

Číslo patentu: 233007

Dátum: 15.08.1986

Autori: Stejskal Pavel, Zamastil Jaroslav, Šimko Timotěj

MPK: H01L 21/28

Značky: křemíkové, katodová, výkonové, součástky, desky, kontaktní, polovodičové, struktura

Zhrnutie / Anotácia:

Vynález se týká úspory zlata při výrobě katodové kontaktní vrstvy výkonové polovodičové součástky. Uvedeného účelu se dosáhne tím, že na křemíkové desce je vytvořena první vrstva ze zlata, opatřená druhou vrstvou z materiálu méně ekonomicky náročného, např. stříbra nebo niklu. Druhá vrstva může být opatřena třetí ochrannou vrstvou ze zlata.