Gajdoš Andrej

Zariadenie na rotáciu súčiastok vo vákuových zariadeniach počas vytvárania vrstiev

Načítavanie...

Číslo patentu: 252970

Dátum: 15.10.1987

Autori: Pecár Ivan, Liska Dušan, Král Jozef, Gajdoš Andrej, Ferdinandy Milan, Semsey Ladislav

MPK: C23C 14/00

Značky: zariadenie, vrstiev, súčiastok, vakuových, zariadeniach, vytvárania, rotáciu, počas

Text:

...pohybe odvodenom od unášača 2 cez hriadel 3, ktorý je oddelený spojkou 4 z izolačného materiálu, od vákuotesne utesnenáho zo strany vonkajšej atmosféry poháňaného hriadela 5, cez ozubenékolesá 6 uchytené v unášači 2 a pevné rozvádzacie koleso s vnútorným ozubenim 7,ktoré je elektricky odizolované a mechanicky spojené s držiakom 8 uchytenom na chladenej prírube 9, cez ktorú je vedený svornikom 1 D vysoký potenciál na puzdro 11, odizolované...

Vákuová komora pre zariadenie na iónové plátovanie a iónovú implantáciu

Načítavanie...

Číslo patentu: 252966

Dátum: 15.10.1987

Autori: Král Jozef, Liska Dušan, Semsey Ladislav, Ferdinandy Milan, Pecár Ivan, Gajdoš Andrej

MPK: C23C 14/56

Značky: iónovú, plátovanie, vakuová, komora, iónové, zariadenie, implantáciu

Text:

...pomerom dĺžky ku prierezu súčiastok. Vákuové komory takýchto zariadení sú bud horizontálne, alebo vertikáĺne orientované a sú v tvare valca alebo hranola, ktoré sú osovo sümerné. Ak by sme použili vákuové komory, ktorých by dĺžka bola dostatočná pre umiestnenie súčiastok hriadeľového tvaru, potom by to bolí jednoúčelovo konštruované zariadenia, čím by bola obmedzená po 4žadovaná univerzálnost uvedených typov vákuových zariadení. Uvedené...