G02B 6/12

Zařízení pro měření optického výkonu emisních čelně emitujících čipů

Načítavanie...

Číslo patentu: 268127

Dátum: 14.03.1990

Autori: Čotek Petr, Sika Jiří

MPK: G02B 6/14, G02B 6/12, H01L 21/66...

Značky: emisních, optického, čelně, emitujících, výkonu, měření, čipu, zařízení

Text:

...měření optického výkonu čipu na cele desce před použitím ke zpracování. Nepřesností vzniklé opotřebenín detektoru jsou vzhledem k požadovaným nârokům na měření zanedbatelné. Výhodou zařízení podle vynälezu je jeho velká operativnos měření, snadnà možnost automatizace a na nipulace s čipem při měření.Na připojenem výkrese je vyobrazeno blokově schéma zařízení pro měření optického výkonu emisních čelnč emítujících čipů.°rincip spočívà v...