Drgáč Lubomír

Lázeň pro mokré chemické spalování fotolaků a vosků

Načítavanie...

Číslo patentu: 234529

Dátum: 01.11.1987

Autori: Cihlář Jiří, Drgáč Lubomír, Rous Bedřich, Dobeš Ivan

MPK: H01L 21/306

Značky: lázeň, chemické, mokré, fotolaků, spalování, vosků

Zhrnutie / Anotácia:

Účelem vynálezu je zvýšení produktivity práce za současného snížení spotřeby chemikálií. Podstata vynálezu spočívá v tom, že lázeň je tvořena koncentrovanou kyselinou sírovou zahřátou na teplotu nejméně 130°C, aktivovanou před každým použitím peroxidem vodíku v množství 5 až 30 ml na 1 L kyseliny sírové za současného míchání inertním plynem.

Zařízení pro oboustranné mechanické čištění křemíkových a jiných tenkých kruhových destiček

Načítavanie...

Číslo patentu: 237688

Dátum: 01.06.1987

Autor: Drgáč Lubomír

MPK: H01L 21/304

Značky: jiných, oboustranné, čištění, tenkých, destiček, křemíkových, kruhových, mechanické, zařízení

Zhrnutie / Anotácia:

Podstata zařízení spočívá v tom, že zařízení sestává jednak ze statorového pouzdra, na jehož víku jsou symetricky rozloženy mycí segmenty, přičemž víko s pouzdrem statoru svírá unášecí lemy statoru a je opatřeno zasouvacím kolečkem na ose v palci a jednak z rotoru, na němž jsou symetricky rozloženy mycí segmenty a víčkem sevřeny unášecí lemy rotoru. Pohon celého zařízení zajišťuje jeden motor. Křemíková destička, vtlačená do pracovního prostoru...