Chavanne Hervé

Zariadenie na generovanie studenej plazmy vo vákuovej komore a použitie uvedeného zariadenia na termo-chemické procesy

Načítavanie...

Číslo patentu: E 10811

Dátum: 01.02.2008

Autori: Chavanne Hervé, Maurin-perrier Philippe, Poigt Laure

MPK: H05H 1/24

Značky: komoře, studenej, plazmy, generovanie, vákuovej, termo-chemické, zariadenie, použitie, uvedeného, procesy, zariadenia

Text:

...tohto typu prináša patent EP O 881 865, ktorý sa týka zariadenia na produkciu niekoľkých prúdov nízkoteplotnej plazmy pomocou vysokofrekvenčného výkonu použitím vybíjačov. Zariadenie je usporiadané z niekoľkých jednotlivých dutých katódových komôr,každý plazmový prúd prebieha V samostatnej dutej komore, to znamená v uzavretom priestore výboja. Medzi nevýhody tohto riešenia patrí najmä to, že medzi otvormi môže nastaťnerovnomerný výkon a že...