Způsob třídění polovodičových součástek a obvodů z hlediska přesnosti geometrie funkčních oblastí

Číslo patentu: 263440

Dátum: 11.04.1989

Autori: Ryšánek Vladimír, Rashad Mohamed

Stiahnuť PDF súbor.

Text

Pozerať všetko

(75) RYŠÄNEEZ VLADILEÍR prcf.xursc.,Amorwnmuu RJSHAD MOHAMED SALÉM ing., PRAHAZpůsob třídění polovodičových součáçtek a obvodů 54) z hlediska presnosti goometrie funkčních oblastíJedná se o přesnou metodu, umožňující identifikovat geometrické nepřesnosti i u funkčních oblasti pod povrchem polovodičové součástky nebo obvodu, a to i při provoznich podmínkách. Způsob je rychlý a z hlediska použitých měřicích prostředků nenáročný. Na polovodičovou součástku či obvod ae působí hnmogennim, kolmým,symetricky proměnným magnetickým polem, a to kladné i záporné polarity. Pro obě polarity magnetickéhn pole se zjistí od~ chylky proudu resp. z něho odvozených veličín a polovodičové součástky nebo obvody, ktoré mají tyto odchylky odlišné,tedy vykazují geometrickou nepřesnost sledovaných funkčních oblastí, se vytřidí.Vynález se týká způsobn tříâění polovcćíčcvýcn scučástek 9 obvodů z hlediska přesností geometrie jejích funkčních oblastí,tedy odchylek rozměrů těchto oblastí.Polovcůicovéásoučástky a obvody mají vlivem výrobních tolerancí odchylky rozměrů svých funkčních oblastí. Tyto tolerance jsou oříčinou odchýlek funkčních parametrů.V současné době se k třidění pclovodičových součástek a obvodů používá často optická metoda, při ktoré se pozoruje Zvětšený obrazec součástky či obvodu a zjištují se odchylky od návrh . Nevýhodou této optické metcáy je-velmi nízká přesnost a nemožnoet ídentifikovat oblasti nod.povrchem prvku či obvoduJe možné též použít elektronovéhc xůkroskopu, kdy se zjišřují odchylky od návrhu oodle intenzity sekundárníoh elektronů n různých oblas í. Nevýhodou této metodyje že je velmi pomalé a náročná na ooužíté zařízení.Výše uvądené nevýhody, které jnou závažné zejména u velkých integrovaných obvodů, odstraňuge způsob tříděnĺ polovodičo~ vých součástek a obvodů 2 hlediska cŕesnosti geometrie funkčních oblastí podle vynálezu. Jeho podstatou je, žepn polovodičovou součástku či obvod se působí homogexním, Kolmým, symetricky proměnným magnetickým polem nejprve jeäné a pak druhé polarity..Pro obě polarity tohoto magnetického pole se zjistí odchylky proudu,resp. z něho odvozcných veličín. Polovodičové součástky či obvody, které mají tyto odchylky oàlišné, se vytřídí.Výhodoutohcto způsobu třídění je vysoKá přesnost, možnost identífíkace geometrických nepřesnoatí i u oblastí pod povrchempolovodičového prvku či obvodu a nmčnost zjištění těchto nepřesností i při provozních nodmínkácn. Způsob je rychlý a nenároč~ný na použité zarízení, kterým je V podstatě elektromagnet a měřič odchylek.Způsob třídění oolovodičových součástek nebo obvodů z hlediska přesností geometrie jedich funkčních oblastí je naznačen na příloženém výkrese. Na obr. l je naznačen stav, kdy jsou . elektrody zkoušené součástky symetrické a na obr. 2 je príklad I pro nesymetrické elektrody.Při zjišřování geometrických nepřesností se proměřovàná polovodíčovásoučástka nebo obvod Q vloží do homogenního, kolmého, symetricky proměnného magnetického pole, vytvoreného například elektromegnetem.ł, nepájeným střídavým proudem. Z důvodu homogenity magnetického pole se volí průměr jeho pólů podstatně větší, napříiclad e-krát než měřený objekt. Působením magnetického pole od elektromagnetu l se odchýlí nositelé É náboje g, například o vzdálenost Ž na obě strany od sledované funkční oblasti, v tomto případě od elektrody 3. Tím vznikne změna v protékajícím proudu, která je indikována indikátorom Ž. Toto měření se provádí při kladné i záporné polarité magnetu. Je-li-oro obě polarity magnetického pole elektromagnetu l. Při nesy metrii funkčních oblastí se pak projeví i odlišné hodnoty V měřícím proudu podle polarity magnetického pole, jak je neznačeno na druhém obrázku.Při malých rozměrech funkčních oblastí Vzhledem k tloušřce polovodičové součástky čí obvodu se projeví větší změny prou du při působení magnetického pole.Zařízení, kterým jsou odchylky sledovány, musí být uzpůso beno tak, aby na měřenou polovodičovou součástku či obvod nepůsobila jiná rušivé pole nebo teplotní ani světelné změny.Zoůsob třídění polovodíčových součástek a obvodů z hlediska přesností geometríe funkčních oblastí,vyznačující se tim,že se na polovodičovou součástku či obvod působí homogenním,kolmým, symetricky proměnným magnetickým polem postupně jedné i druhé polaríty, pro obě polaríty tohoto ñagnetickébo pole se zjístí odchylky pPoudu,resp. z něho odvozených veličín a polovodičové součástky nebo obvody, které mají tyto odchylky odlišné, se vytřídĺ.

MPK / Značky

MPK: G01N 27/00, G01R 31/00

Značky: součástek, obvodů, funkčních, třídění, presnosti, hlediska, oblastí, polovodičových, způsob, geometrie

Odkaz

<a href="http://skpatents.com/5-263440-zpusob-trideni-polovodicovych-soucastek-a-obvodu-z-hlediska-presnosti-geometrie-funkcnich-oblasti.html" rel="bookmark" title="Databáza patentov Slovenska">Způsob třídění polovodičových součástek a obvodů z hlediska přesnosti geometrie funkčních oblastí</a>

Podobne patenty