Hlavice systému s polovodičovým detektorem pro měření rtg záření

Číslo patentu: 247944

Dátum: 15.01.1987

Autor: Vidra Miloš

Stiahnuť PDF súbor.

Text

Pozerať všetko

(54) Hlavice systému s polovodlčovým dotoktorem pro měření rtg zářenlŘešení se týká koaxiálního uspořádání komponent měřicí hlavice systému pro měření rtg záření s polovodlčovým detektorem,který je přes izolační destičku umístěn na misce. která je spojene s jedním koncem chladovodu, přitom polovodičový detektor je přitlačován k misce z důvodu dobrého tepelného kontaktu. Elektrický kontakt polovodlčového detektoru je zajišťován pomocí válcové izolační destičky, jejímž středem prochází elektrický vodič. který tvoří spojení detektoru se vstupní částí elektronické trasy. Na válcovou destičku je vyvozován tlak pomocí spojek, které procházejí montážními otvory v chladovodu, a pomocí tenkostěnné trubky, která je navlečena na tlakovod a současně tvoří radiační stínění. Uspořádání hlavice podle vynálezu je určeno pro spektrometrlcká měření rtg záření. zejména pro elektronové mikroskopy.vynález se týká hlavice systému s polovodičovým detektorem. která má koaxiální způsob uspořádání komponent měřicí hlavice s polovodičovým detektorem pro spektrometrická měření rtg záření, zejména v elektronových mikroskopech.Pro spektrometrická měření rtg záření pomocí polovodičovýoh detektorů se konstruují měřicí hlavice, ktoré jsou společně s detektorem, a velice často i se vstupní částí elektronické trasy, umístovány do krycstatu. K zajištění funkce je detektor společně se vstupní elektronikou chlazen, obvykle pomocí kapalného dusíku. K zajištění vysoké rozlišovací schopnosti detektoru je nutné, aby rozptylové kapacity vstupní části byly oo nejnižší. vstupní hlavice systému musí být dále vybavena radiačním tepelným stíněním, které zabraňuje tomu,aby tepelné záření z pláště kryostatu nedopadalo na povrch polovodičového detektoru a nezvyšovalo tak jeho elektrický proud. což by se projevilo zhoršením jeho rozlišovací schopnosti.U rtg systémů pro standardní aplikace obvykle nehrají geometrické rozměry hlavice podstatnou roli. Konstruktér není nucen tyto rozměry minimalizovat. Problém minimální rozptylově kapacity vstupní části se řeší tak, že ostatní komponenty se umístí co nejdále od kritických částí.U celé řady systémů, například pro elektronové mikroskopy, však vnější radiální rozměry mají zásadní důležitost. U těchto zařízení obvykle nesmí průměr měřicí hlavice přesáhnout 20 až 25 mm. Toto omezení obvykle vyplývá z požadavku vysoké detekční účinnosti. je nutné přiblížit detekční část sondy co nejvíce k proměřovanému objektu. za těchto podmínek hraje konstrukční uspořádání hlavice, zejména její vstupní detekční části, dominantní úlohu.Uvdené nedostatky odstraňuje řešení hlavice systému s polovodičovým detektorem pro měření rtg záření podle vynálezu, jehož podstatou je, že hlavice má koaxiální uspořádání,ve kterém má polovodičový detektor umístěný na izolační destičce v misce, která je mechanicky spojena s jedním koncom chladovodu, zajištěn tepelný kontakt s miskou a elektrický kontakt s přívodem pomocí válcové destičky. jejímž středem přívod prochází a pomocí spojek, které procházejí montážními otvory v chladovodu zakrytými tenkostěnnou trubkou navlečsnou na chladovod.výhodou řešení hlavice podle vynálezu je její důsledné koaxiální uspořádání měřicího systému, které zajišťuje minimalizaci požadovaných rozměrü v případě využití u elektronových mikroskopů. Polovodičový detektor je přitlačován k misce z důvodu zajištění dobrého tepelného kontaktu, na válcovou destičku, jejímž středem prochází přívod - elektrický vodič, který tvoří spojení polovodičověho detektoru se vstupní částí elektronické trasy, je vyvozován tlak pomocí izolačních spojek a tenkostšnné trubky. Tato trubka, která je navlečena na chladovod, tvoří zároveň radiační stínění pro záření, které by mohlo pronikat z pláště sondy k detektoru montážními otvory v chladovodu.Príklad uspořádání hlavice systému s polovodičovým detektorem pro měření rtg záření podle vynálezu je uvedena na pŕiloženém výkrese. Polovodičový detektor L je umístěn na tepelně vodivé a elektricky izolační podložce 3 v kovové misce 3, která je mechanicky pevné spojene s chladovodem 1. Elektrický signál z polovodičového detektoru l je odváděn přívodem Ž, který prochází středem izolační välcové destičky É, která spolu se spojkami 1 zajiščuje elektrický kontakt polovodičového detektoru ł. spojky 1 procházejí montážními otvory 2, které jsou vytvořeny v chladovodu A a jsou zskryty tenkostěnnou trubkou Q navlečenou na chladovod 1.Pevné spojení misky Q s chladovodem A zaručuje dobrý odvod tepla z polovodičového detektoru 5 a tím i jeho nejnižší možnou teplotu. Přes tenkostěnnou trubku Q, na níž působí přítlačná síla lg, je vyvozován tlak na spojku É a současně vytváří také radiační stínění. Tenkostěnná trubka§ je axiálně posuvná po chladovodu 1.Hlavice systému s polovodičovým detektorem pro měření rtg záření, vyznačující se tím,že má koaxiální uspořádání, ve kterém má polovodičový detektor /1/, umístäný na izolační podložce /2/ v misce /3/, která je mechanicky pevne spojene s jedním koncam chladovodu 14/,zajištěn tepelný kontakt s miskou /3/ a elektrický kontakt s přívodem /5/ pomocí izolační válcové destičky /6/, jejímž středem prochází přívod /5/ a spojek /7/, které procházejí montážními otvory /9/ vytvořenými v chladovodu /4/ a zakrytými tenkostěnnou trubkou /8/navlečenou na chladovod /4/.

MPK / Značky

MPK: H01L 31/00

Značky: polovodičovým, měření, detektorem, systému, hlavice, záření

Odkaz

<a href="http://skpatents.com/4-247944-hlavice-systemu-s-polovodicovym-detektorem-pro-mereni-rtg-zareni.html" rel="bookmark" title="Databáza patentov Slovenska">Hlavice systému s polovodičovým detektorem pro měření rtg záření</a>

Podobne patenty