Způsob výroby kovových kontaktních vrstev na polovodičových strukturách

Stiahnuť PDF súbor.

Text

Pozerať všetko

HA TMAN JAN ing.KU ERA KAREL PRAHA(54) Způsob výroby kovových kontaktních vrstev na polovodičových strukturáchŘešení se týká způsobu výroby kovových kontaktnich vrstev na polovodičových strukturách. Vretva kontaktního kovu nanesené na polovodičový systém se v definované stmosfáře zahřeje alespon v jednom pulsu pułsním zdrojem zářaní, tvařeným laserem C 02, neodymovým laserem YAG nebo xenovou výbojkau na teplatu 350 až 800 °C. Doba trvání pulau je kratší než 5 os,energia pulsu je 5 až 60 J/cm a rozsah vlnových délek záření 0,3 až lotm.Vynález se tý.á způsobu výroby kovových kontaktních vrstev na polovodičových strukturách.Dosud známé apůsoby výroby kovových kontaktních vrstev na polovodičových strukturách využívají techniky napařování, naprašování, galvanického nebo bezproudového nanášení a dalších známých technik. Takto vytvořené vrstvy kontaktních kovů se zažíhávají při teplotách nezbytných k reakci kontaktního kovu s polovodičovou podložkou, at se jedná o vytvoření eutektické mezivrstvy, o vrstvy silicidů a podobně. Kontakty se vytvářejí v jednom nebo více krocích, ve kterých se vrstvy zažíhávají při různých teplotách. Kontaktní vrstvy jsou často tvořeny kombinací několika vrstev různých kovů.Při všech těchto technologiích je třeba zahřát celou polovodičovou soustavu nateplotu 300 až 7 oo° c podle typu kontaktního kovu.Při těchto teplotách však probíhají difuzní procesy těžkých kovůa hlubokých příměsí, dochází ke kontaminaci, redistribuci nečistot, vytváření poruch a precipitaci, která je zvýrazněna zvýšeným obsahem kyslíku V povrchových vrstvách.Vynález řeší způsob knxnxýn výroby kovových kontaktních vrstev na polovodičových strukturách tak, že vrstva naneseného kontaktního kovu se v definované atmcsféře zahřeje alespoň v jednom pulsu pulsním zdrojem záření, tvořeným laserem C 02, neodymovým laserem YAG nebo xenonovou výbojkou na teplotu 350 až 800 ° C,přičemž doba trvání pulsu je kratší než Sočus, energie Pula je 5 až 60 J/cm 2 s rozsahem vlnových délek záření 0,3 äž 10 čum.Výhody řešení podle vynálezu spočívají především v tom, že při pulsním zažíhnutí kontaktního kovu je prakticky celý objem polovodičové struktury na nízké teplotě a teplotu zažíhnutí kontaktního kovu lze zvýšit na libovolnou teplotu, aniž by se ovlivnila vnitřní struktura. Nedochází ke kontaminaci, redistribuci nečistot, difuzi těžkých kovů a k vytváření poruch.V případě kontaktního kovu, který vytváří silicidy např. niklu,se teplota v pulsu mezi vrstvou kontaktního kovu a polovodičovou strukturou zvýší nad hodnotu potřebnou k vytvoření silicidů.V případě použití kontaktního kovu, který při zažíhnutí vytváří rekrystalizovanou vrstvu, se v průběhu pulsu teplota rozhraní mezi kontaktním kovem a polovodičovou strukturou zvýši na nadeutektickou teplotu.Na polovodičové desce je bezproudově vytvořena vrstva niklu.Celý polovodičový systém se předehřeje na teplotu 35000 a potom se v dusíkové atmosféře niklová vrstva pulsně zažíhne xenonovou výbojkou na teplotu 600 ° C, při které vznikne mezivrstva silicidu niklu. Délka pulsu je loćus, energie v pulsu je 15 J/cm 2, tlouštka niklové vrstvy je 34 um.Takto vytvořený niklový kontakt je vhodný pro pájení polovodičové desky k dilatačni elektrodě pájkou na bázi olovo-stříbro.1. Způsob výroby kovových kontaktních vrstev na polovodičových strukturách, v y z n a č e n ý t í m , že vrstva naneseného kontaktního kovu se v definované atmosfeře zahřeje alespoň v jednom pulsu pulsním zdrojem záření, tvořeným laserem C 02 neodymovým laserem YAG nebo xenonovou výbojkou na teplotu 350 až eoo° c, přičemž doba trvání pulsu je kratší než 50,us, energie pulsu je 5 až 60 J/om 2 e rozsahemvlnových délek záření 0,3 až loćum.2. Způsob výroby kovových kontaktních vrstev podle bodu 1.,v y z n a č e n ý t í m , že polovodičová struktura e na nesenou vrstvou kontaktního kovu je při pulsním ohřevu předehřáta na teplotu 200 až 400 ° C.

MPK / Značky

MPK: H01L 21/428

Značky: způsob, polovodičových, výroby, kontaktních, strukturách, kovových, vrstev

Odkaz

<a href="http://skpatents.com/3-242655-zpusob-vyroby-kovovych-kontaktnich-vrstev-na-polovodicovych-strukturach.html" rel="bookmark" title="Databáza patentov Slovenska">Způsob výroby kovových kontaktních vrstev na polovodičových strukturách</a>

Podobne patenty