Zverejnene patenty 01.11.2008

Vákuová komora na báze rámu pre nanášacie zariadenie

Načítavanie...

Číslo patentu: E 16514

Dátum: 01.11.2008

Autori: Krassnitzer Siegfried, Mayer Marco, Gwehenberger Jürgen, Zünd Fredy

MPK: C23C 16/44, C23C 14/22

Značky: báze, nanášacie, rámu, zariadenie, vakuová, komora

Text:

...tým, že komora je vytvorená ako rámová konštrukcia, do ktorej sú vložené vkladacie dosky. Rám tvorí stabilnú kostru pre komoru. Na jednotlivých vkladacích doskách môžu byť vopred namontované nástavbové a vstavné zariadenia, ako napríklad čerpadlá, target alebo terč, alebo zdroj. Vkladacie dosky sa spoja s rámom mechanicky a vákuotesne alebo hermeticky. Pre vytvorenie väčšieho počtu rôznych vákuových komôr pritom môžu byť rámy vo väčšom počte...