Způsob zhotovení volně nesené dálková masky pro zmenšující projekční soustavy

Číslo patentu: 245264

Dátum: 15.06.1987

Autori: Oksman Erkki, Lehto Arto

Je ešte 8 strán.

Pozerať všetko strany alebo stiahnuť PDF súbor.

Text

Pozerať všetko

Hacwoamee naoópemenue Kacaemca Texnonoruu naroronnenna Macxu aus npoenunn na paocwoanną npoexunonaoü cucmemunan oónuenna qacwnu, Haupumep nan anexrpouuoro mnm nonnoro npoexwopa, B qacrnocmu nan uaóupamenbxoro crpynwypuponauus u/mnm nowuponauma B npouecce narowonneuzs cxem c Bnconoñ cweneanm nnwerpauuu.Xapaxmepucmuna uanecmuux wexnnqecxnx pemennüMonnnü mnm anexmponsuü npoanwop conepmur uacruqao npouuuaemym uns nowona qacwuu u cnoóonnouecymym nncwanuuoaaym macky, nomopaa B coownewcwnnu c Macmmaóom usoópaxenus cwpyxmypu owoópaxaemca Ha nouynpononnuxonue, upononamue. nsonnpymmna man uaxonue nnenxu, eaonno c ewüm oóecuequnan usóuparenbnym no omnensnum Kpncrannam cencudnnneannnmnm ornpoaanne nneàxn. Hpu nouomu onepannn Tpaaneuna no Bceñ nonepxnocmu nan npoanneana nanonoro noupuwnacraaoauwca Boamonuum cmpynmypuponauue nocne ocymecwsneuua ceacndnnnsynmeñ onepauun.Manecmno, qwo ycwoüqmnue nncmaaumonnua Macxn Momnononyqnms pacnpeneneauau Kamoi npoexunonnoü nnocxocruc yuewom oupenenennnx coowuomeanñ nnnn n mnpor owsepcruüB Macne MMHMMM Ha nas MBČKH c raxmm pacuemom, umoón n Macxa ae odpaaonanncs Koxsneoópasnue Ľ aammnymgy ownepcrma. K 0 lbu 60 Ópa 3 HHG-3 aMHyTHB cmpyxmypn nýnpucwaane TGM, To npenaaauaqenue nna onnon npo§KunonaoüuuocKucTu Mmnnmwm une MEOKE oroópamawwca nocnenonawnsuo onna sa npyroñKpoma TOPO maaecmno, amo ycroñnnnym nucraauuonnym Macny MOKEO nonyunmb TGM. qwo non sanenannue B nee owaepcmna c nwóoü Konçurypanueñ nonxnannaaerca ocaonaan pamewxu o perynnpnoü crpyxrypoi, npmqem ycwoüqunoows Macnu oóecneuunaerca3 Conpemennyü Texnouormqacnmñ yponenb msrowonnenms ycToüqmBux COTOBHX Macox 0 ĽĽMHOĚ Rp 0 MOK E npenenax OT 30 no 50 MM nonyçxaew nonxnanuaanue pememxn c TaKuM pacqerom, qwoóu Bosnnxauu nepemnqam Mexny pemerxamm cowamn H Knanpawnqune ownepcmun pemewok mmpunoň oxono 5 MMKp 0 HOB. Panaomepnaa cencmómnmsauma H nowmponanua sonu KpucTanna,oTHocsmeücsK soae nonuomxm, oóecueqmBaeTc 5 sa cqew qewupexxpawaoro ancuonmposannn. jas sworo nocne Kannoñ onepauum sucnonmponanms Kpmcmann H Macxa nepememamwcs c TaKuM pacqewom no owuomennm K npyr npyry. HTOÓH Kamnas KBapaTMHHaa anepTypa E Macxe eKcuoHmpoBana Ha nnacwnne Knapaw na B 32 MMOCBH 3 aHHHX 3 neMeHroB.Ecnu mmpmnu ownepomua H nepemmqnu öyym cnmäaxoan,nocne oxonqasua 4-x onepaumü excnonuponaamn BCB 3 oHa c uonnomenaoñ pemewxoü óynem ouaaugawscs H 8 Hp 6 pHEHO ceucnömnmsmponaaaoñ H nowmposansoñ.Pa 3 MepHocTL nmrmmauusaunn npoexwa momem B nanaom cnyqae TOĽLRO oxaausawbcs pasnoñ ñĽHCOOTBeTCTBOBaTL Kpawaocwu nnnau Kp 0 mOK awnx anemeuwapsax KB 3 ÄPaTOB.vMHaHe owaepcwnn B pemerxax óynym Hep 6 KpHBaTBGH TOĽLKO qacwnqno cwpyxwypamu,Hp 08 KuEĽ.CXBMH. Tax, B npouecce Mnoroxpawnoro axcnonupoaaana BOSHHKEDT He oónyqennue nnomaxu 2 npeuenaxnoąnexammx odnyqesum son, qmo MQXGT npunoums R Buxoy na cwpoa suemenmon. B Hacmosmee Bp 8 M 8 sa cqaw npumenenua onemoouwnqecxux Memonon nan pemewxn oceamsaewca pacTp 5 mm. Tax,upm MacmTaóe msoópaxenza.upoexumonuoro annapamà, panaom 101, CTaHOBHTCH nosmomaum Mnummansnuü pa 3 mep.nurmTann 3 anuu I M 3. 3 To COOOTBeTCTByGT cmenenu nawerpaunu ngnóopa I-x~c-PAM.Kpome TOPO naBecTHa Bosmoxnocrs narowoanenun nmcwanunounuxMacox TGXHOIOPĽBĚ raALBaHmqecKoro ocaKneHnaHMKena na nonomxe. Hymaaa cTpyKTypa Macxu Bo 3 mKaeT 38 CWGTTpeóyemaa Ann oóecneqenua ycroüqwaocwn Macxn Toumnna MaTapuaua nocmuraemca TGM, qwo B onyqae pacmennennoü MHHMMNM Ha 2 anowanmonhux Macox npoexunonuoü nnocnocwn PEHLBGHEqacxuü npouecc He HpDOCT 8 HaBHMBaGTOH nocne oóecneqenua Hymuoü Tonmuuu naxoaoro noxpumna, upmqem nan naxonum noxpuwmem cnoñ mnam paspacwaemcs ,uanmue B ÓOKOBOM m BGDTMKQALHOM HanpaBneHnsx. Swa Texnonormn onaaxo He oóecnequnaem Bosmomxocrb peannsaumm cxemoñ TGXHHKH c Bucoxoü cwenensm usrerpauun.Hpu Hanmquu coToBoü macka ranbnaumqeckmž nponeoc npmoomaHaBnunaeTca,To-ecTL npexpamaemca nocne nonyqenua Hymaoü Tonmmnu naxonoro noxpuwma, HaHOCMTCH npyraa macka c anreanonaum naKoM c monmmuoñ noxpuwma Š 2,5 MM H BGCL npouecc nonmopaewcs c uansm ycnneuma pemawqawux nepemuqen. Hocne oTTpaBnmBaHun nonoxen B oóoux cnyqanx nonyqaeTca ycmoüqmaaa uucrauuuonaas macka.Hpome Toro GCTL caeneums o BOBMOMHOGTH MCHOĽB 3 OBaHMH TOJICTOPO pncmononoro noKpuTMa /Tomuuaa Š IO MK/ mm nonyqeuua GOOTBBTCTBBHHO Toncwoñ M ycmoñqunoñ pemewqawoü macxm. Opuenwnpoaanaoe crpyxmypupoaanme pucwonoro cnoa noapuwua nponanomrca npu nomomn Bcnomoramensnoñ MBCKH sa cqer npumenauua Texnonornü p 8 aKTĽBHOľ 0 vĽHHHO-nyüGBOr 0 Tp 8 BH 6 HH 8, upmqem BGHOMOPBTGHBHGH macka B csom oqepans cwpyxrypmpyerca npm nomomn naxonnenoqnoro noupuwua.Kpome TOPO nsaecmuo, qTonanpmMep Ha npoexunonuoñ unooxooma MCEHTBTGHBHOPO yqacrxa nas ycmpoñcwna I K-c-PAM paamemanwcs nopsnxa I 04 105 Toqex. Honnaraemaa oąaaxo B cnyqae peerqaroñ /coToBoü/ Macnn pemawqawas-cwpyxwypaograao cqąepxur coorsercmnenno nan amoñ menu nopsnxa 108 woqex. B upouecce maromonnenna pemervawoñ Macnn, B qacmnocrn B pamnax nansneümero ymoneuna pemewxu nas paanueaunn óonee Bucoxoü cweneau nawerpauum oxem Heoóxonumx Ana sxcuoamponaama ěoropeamcma nuýopmauuü Hapacwaem HQCTOĽLKO, amo nnmeanaa neěexwon Texnonorns msrowonnenma mna uonnepraewca Eooóme comnenum mnm ee peanmsauun cmaäosnmca aenosmoxnoñ.n 5 m Henb nsoópeweunn Hana nsodpeweuum oaonnrca K paspaöorne Texnonornu nanAmaroronneama cnoóonnouecymeñ nncwaauuonaoü Macxn. upunemnecmowps na mpeóyemm Bucoxym cwenens uurerpaunu /haupnmep paamepnocrs nnrmmannaaunm pannserca 0,2 M/ n Ha Heoóxoumyn Ana 3 TOPDTOÉmHy pememnu npouecca uaroroaneama MBCKM uocnenuuü nonmeu ocymecwsnawbca npocrum n anouommqecnu npnemnemmm cuocoóoMB ocuony msoópemenma aanoxena sanaqa uonxuanusanmn OTKPHTHX sou B usrorannanaemoñ nucmanunonaoü MBGKG npn nomomn ycmožqnnoü pemerxn, Koropaa c Hyxnoñ OTGHBHBD nnmerpaunm oónanaew nocramoqnoü Tonmaoü, aus peannsaunu Kowopoñonnaxo Tpeóyerca maónon, Komopuü aa npanumaem nonnemamero Haexnoü oópaóorxe oóxema nnçopmauuz ycrpoñcmna nan sxcuouuponauun.B coornewcwnnu c n 3 o 6 peTeHuem aŕa aanaua pemaewcs TGM, qwo 3 Kauecrna maónona Ana cosnäsaemoň pamernn upmmenaewca nororonneanaa no rexnoxormu anepnux Qunnwpon nnacwmacconaa ĚOĽLIE. Rus sro usrowonnenua HCHOĽLŠOBHBBGTCH nyuąanepaux vacmnu c oqens Manum KOBQĚHHHBHTOM paçcennaaus Hanpanneunocwn. Cramucwnqecnn pacupenenaemoe paccmoanne Memny ownapcmuamm H nuamawp ownapcmnü Buóupaewsn COOTBGTCTBGHHD B npenenax or 0,5 no 2 MR. Tanzm oópasom B cnssu c Macmmaóom maodpaKBHHH B npenenax om I 0 I n B sanncumocwn om paspemawmeü cnocoónocmnlupoexuuonnoro annapama cwaaonnrca Bosmoanuu nepexpunaane nepeMuqeKpemeTKn Ha xpncranne.OT Mnoroxpamaoro axcuoanponauua npu cmemeunnqmacnn mnnacrmnn owuocnwansao npyr npyra MOEHO owxaaamnça n Taxnm oópaaom nonpeaannue ownepcrns pemewox npunonnw yxe TOHLKOK mepoxonawocwu Kp 0 MOK Hü KDMCTBĽHG, pasmepu Kowopoä onpegensmmcs MBGWTEÓOM usoópamenus H cymmoň, noncqnrunaamoñna nnamempa omaepcmna u KOSĎQMHEGHTQ nnownocmu ceacuöznnaauuu m nomuposauua. Tax nan-Moxuo ncxonuwn om cymecwnymmero maónona, 245264

MPK / Značky

MPK: H01L 21/70

Značky: volně, dálková, masky, nesené, soustavy, zhotovení, projekční, způsob, zmenšující

Odkaz

<a href="http://skpatents.com/16-245264-zpusob-zhotoveni-volne-nesene-dalkova-masky-pro-zmensujici-projekcni-soustavy.html" rel="bookmark" title="Databáza patentov Slovenska">Způsob zhotovení volně nesené dálková masky pro zmenšující projekční soustavy</a>

Podobne patenty