Způsob leptání vícevrstvého kontaktu výkonových polovodičových struktur

Číslo patentu: 274946

Dátum: 17.12.1991

Autori: Louda Jaromír, Říčařová Daniela, Homola Jaroslav

Stiahnuť PDF súbor.

MPK / Značky

MPK: C23F 1/44, H01L 21/28

Značky: způsob, leptání, kontaktů, struktur, výkonových, vícevrstvého, polovodičových

Odkaz

<a href="http://skpatents.com/1-274946-zpusob-leptani-vicevrstveho-kontaktu-vykonovych-polovodicovych-struktur.html" rel="bookmark" title="Databáza patentov Slovenska">Způsob leptání vícevrstvého kontaktu výkonových polovodičových struktur</a>

Podobne patenty