Způsob vytvoření kontaktní vrstvy řízenou plazmoreaktivní depozicí

Číslo patentu: 271774

Dátum: 14.11.1990

Autori: Bárdoš Ladislav, Libra Martin

Stiahnuť PDF súbor.

MPK / Značky

MPK: H01L 21/203, H01L 21/28

Značky: vrstvy, řízenou, vytvoření, plazmoreaktivní, depozicí, způsob, kontaktní

Odkaz

<a href="http://skpatents.com/1-271774-zpusob-vytvoreni-kontaktni-vrstvy-rizenou-plazmoreaktivni-depozici.html" rel="bookmark" title="Databáza patentov Slovenska">Způsob vytvoření kontaktní vrstvy řízenou plazmoreaktivní depozicí</a>

Podobne patenty